輝光放電質譜法，簡稱GDMS，是利用輝光放電源作為離子源與質譜儀器聯接進行質譜測定的一種分析方法。GDMS在多個學科領域均獲得重要應用。在材料科學領域， GDMS成為反應性和非反應性等離子體沉積過程的控制和表征的工具。GDMS已成為無機固體材料，尤其是高純材料雜質成分分析的強有力方法。

 

Autoconcept GD90輝光放電質譜儀是一個專為高精度元素分析所設計的高分辨輝光放電質譜儀。此輝光放電質譜儀（GDMS）提供了固體金屬與緣體的直接分析檢測。它具有非常寬的元素覆蓋范圍，可得到超過70種元素的有效數據，靈敏度高，輕元素重元素均可。

 

GD90輝光放電質譜儀主要特性：

 

·高分辨率，特別是對于有干擾離子存在的測定而言十分重要。

 

·廣泛的元素涵蓋范圍，軟件中包括70個元素相關的干擾離子數據。

 

·由于原子化和離子化過程發生在不同區域，帶來可忽略的基體效應。

 

·低至亞ppb級的定量數據。

 

·具有深度剖面同位素比值分析能力。

 

· 少的樣品制備過程。